海洋觀測，是一切海洋活動的開始，是透明海洋、智慧海洋和海洋信息化的重要基礎(chǔ)，海水溫度、鹽度、深度是最基礎(chǔ)的海洋環(huán)境信息,因此溫鹽深(conductivity temperature depth,CTD)是海洋調(diào)查和觀測中最重要的觀測項目。傳感器是海洋觀測技術(shù)的核心基礎(chǔ)技術(shù)，因海洋領(lǐng)域特殊應(yīng)用環(huán)境，具有技術(shù)難度更高、制造工藝更為復(fù)雜的特性。

目前, 國外在海洋傳感器的產(chǎn)業(yè)化方面已經(jīng)相當(dāng)成熟, 產(chǎn)品性能也居于世界領(lǐng)先地位。國產(chǎn)海洋傳感器技術(shù)研究雖已經(jīng)取得了長足進(jìn)步，部分指標(biāo)甚至已達(dá)到國際先進(jìn)水平, 但其產(chǎn)品的批量生產(chǎn)幾乎空白, 業(yè)務(wù)應(yīng)用更是嚴(yán)重依賴于進(jìn)口，進(jìn)口傳感器幾乎占據(jù)了我國海洋調(diào)查的“整壁江山”。如何打破這一技術(shù)受困的局面，這家本土企業(yè)在三年多的潛心研發(fā)中迎來了重大進(jìn)展。

近日，廈門市敬微精密科技有限公司基于MEMS工藝技術(shù)研制的CYH1454606型深海用壓力傳感器（以下簡稱CYH1454606型深海傳感器）成功完成千米海試，各項指標(biāo)比肩業(yè)界通用的進(jìn)口傳感器，實(shí)現(xiàn)卡脖子技術(shù)重大突破。

海洋觀測，是一切海洋活動的開始，是透明海洋、智慧海洋和海洋信息化的重要基礎(chǔ)，海水溫度、鹽度、深度是最基礎(chǔ)的海洋環(huán)境信息,因此溫鹽深(conductivity temperature depth,CTD)是海洋調(diào)查和觀測中最重要的觀測項目。傳感器是海洋觀測技術(shù)的核心基礎(chǔ)技術(shù)，因海洋領(lǐng)域特殊應(yīng)用環(huán)境，具有技術(shù)難度更高、制造工藝更為復(fù)雜的特性。

目前, 國外在海洋傳感器的產(chǎn)業(yè)化方面已經(jīng)相當(dāng)成熟, 產(chǎn)品性能也居于世界領(lǐng)先地位。國產(chǎn)海洋傳感器技術(shù)研究雖已經(jīng)取得了長足進(jìn)步，部分指標(biāo)甚至已達(dá)到國際先進(jìn)水平, 但其產(chǎn)品的批量生產(chǎn)幾乎空白, 業(yè)務(wù)應(yīng)用更是嚴(yán)重依賴于進(jìn)口，進(jìn)口傳感器幾乎占據(jù)了我國海洋調(diào)查的“整壁江山”。如何打破這一技術(shù)受困的局面，這家本土企業(yè)在三年多的潛心研發(fā)中迎來了重大進(jìn)展。

近日，廈門市敬微精密科技有限公司基于MEMS工藝技術(shù)研制的CYH1454606型深海用壓力傳感器（以下簡稱CYH1454606型深海傳感器）成功完成千米海試，各項指標(biāo)比肩業(yè)界通用的進(jìn)口傳感器，實(shí)現(xiàn)卡脖子技術(shù)重大突破。

圖 1 CYH1454606型深海壓力傳感器固定在CTD架子（左）、ROV兩側(cè)（右）的示意圖

 通過搭載用戶單位廈門大學(xué)的“嘉庚”號科考船，敬微精密對CYH1454606型深海壓力傳感器開展了為期一周的深海比測試驗(yàn)（圖1）。嘉庚號是我國第一艘采用國外方案設(shè)計、國內(nèi)轉(zhuǎn)化詳細(xì)設(shè)計，由高等學(xué)校擁有完全知識產(chǎn)權(quán)的海洋科學(xué)綜合考察船。該船達(dá)到世界同類型科考船頂級水平，創(chuàng)下多項第一。

敬微精密深海比測對象為國際知名的溫鹽深剖面儀（CTD）。測試結(jié)果表明（圖2），CYH1454606型深海壓力傳感器測量的壓力值和變化趨勢與進(jìn)口傳感器高度一致，重合度超過99.9%。這一成績不僅證明了我們在深海壓力傳感器領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力，突破了“卡脖子”技術(shù)，也標(biāo)志著我國自主研發(fā)的深海壓力傳感器達(dá)到了國際先進(jìn)水平，未來有望在全球海洋技術(shù)競爭領(lǐng)域掀起新的波瀾。

這一創(chuàng)新的突破，展現(xiàn)了敬微精密帶頭人和一流研發(fā)團(tuán)隊的卓越實(shí)力，也展現(xiàn)了他們對高端MEMS傳感器的執(zhí)著追求。據(jù)了解，公司創(chuàng)始人兼首席科學(xué)家、CTO系全球MEMS微加工領(lǐng)域頂尖專家，為50多家世界級科技企業(yè)提供精密微加工設(shè)備、微加工元件，代表性作品有SQUID量子超導(dǎo)傳感器、柱列陣元件、高深寬比的小孔系列、燃料電池開發(fā)的元件等。

研發(fā)骨干來自德國哥廷根大學(xué)的理學(xué)博士、德國馬克斯普朗克學(xué)會博士后、日本國立共同研究機(jī)構(gòu)分子科學(xué)研究所JSPS博士后、中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所碩士&博士、英國帝國理工的碩士以及英國諾丁漢大學(xué)、廈門大學(xué)和國內(nèi)芯片傳感器企業(yè)高端人才等。

圖 2 數(shù)據(jù)測試結(jié)果和擬合結(jié)果（S1站位）

MEMS傳感器是智能設(shè)備的關(guān)鍵組件，作為國家政策大力支持的自主可控傳感器技術(shù)，在微型化、低功耗和高靈敏度等方面具有顯著優(yōu)勢，能夠在復(fù)雜的海洋環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。通過不斷的研發(fā)投入和技術(shù)積累，敬微精密在基于MEMS技術(shù)制造的高端壓力芯片傳感器領(lǐng)域已經(jīng)形成了強(qiáng)大的技術(shù)壁壘和競爭優(yōu)勢，已在深空、深海等關(guān)鍵領(lǐng)域突破卡脖子技術(shù)。隨著海洋環(huán)境監(jiān)測產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，敬微精密團(tuán)隊相信，寬溫區(qū)、耐高壓、高精度、高可靠性的高端壓力芯片傳感器關(guān)鍵技術(shù)將發(fā)揮更大的作用，推動我國海洋環(huán)境監(jiān)測產(chǎn)業(yè)向更高水平邁進(jìn)。

廈門市敬微精密科技有限公司簡介：

廈門市敬微精密科技有限公司是由德國、日本歸國科學(xué)家創(chuàng)辦成立的企業(yè)，“雙百計劃”領(lǐng)軍型人才創(chuàng)業(yè)企業(yè)（A類）。中國航空學(xué)會會員、中國傳感器與物聯(lián)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事、廈門市集成電路協(xié)會會員單位。公司以創(chuàng)始人在海外三十多年積累的微加工和超精密加工方面的領(lǐng)先技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)，聚焦以MEMS為核心的微加工技術(shù)，攻克“卡脖子”核心技術(shù)，解決高端芯片傳感器領(lǐng)域進(jìn)口替代問題。

敬微精密是一家核心設(shè)備自己制造、關(guān)鍵工藝自己研發(fā)的高端MEMS芯片傳感器公司，始終堅持以“傳感器核心技術(shù)自主可控”為己任，依托自研設(shè)備和工藝結(jié)合優(yōu)勢，攻關(guān)耐高溫、高精度、高可靠性的壓力芯片傳感器關(guān)鍵技術(shù)，解決長期制約我國航空航天、深海、核能石化和高端制船等領(lǐng)域的發(fā)動機(jī)壓力測量“芯”的難題，以國際頂尖水平的超精密加工能力，集中做自主可控的高端MEMS壓力芯片傳感器為主，填補(bǔ)國內(nèi)市場空白，實(shí)現(xiàn)高端領(lǐng)域“中國芯”的突破。